[发明专利]HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法有效
| 申请号： | 201811361218.4 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109449753B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 韩宇;陈志标 | 申请（专利权）人： | 武汉云岭光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/343 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 胡建文 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市东湖新技术开发*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体激光器领域，提供了一种HCG反射镜层。还提供一种垂直腔面发射激光器。还提供一种HCG反射镜层的制备方法。还提供一种垂直腔面发射激光器的制备方法。本发明的一种HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法，通过使用制备的HCG反射镜层来替代现有技术中的两个DBR反射层，由于该HCG反射镜层包含有具有高对比度的空气悬浮光栅结构，一方面，可以解决VCSEL外延结构复杂且难以实现规模化的缺陷，极大地减少了制作成本，另一方面HCG反射镜层有着反射带宽更宽和偏振保持性更好的优点，并可以通过制备HCG反射镜层时调整制备的参数来达到调节输出光偏振特性的目的；进而使得所制备的VCSEL激光器具有极高反射率和结构简单的特点。 | ||
| 搜索关键词： | hcg 反射 垂直 发射 激光器 以及 二者 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种HCG反射镜层，其特征在于：包括依次生长的铟镓砷层、第一多量子阱有源层以及磷化铟层，所述HCG反射镜层还包括形成于所述磷化铟层和所述第一多量子阱有源层上的空气悬浮光栅结构，所述空气悬浮光栅结构包括由所述磷化铟层至所述第一多量子阱有源层方向凹陷的凹槽以及悬浮于所述凹槽中的亚波长光栅。
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