[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，在对象物的加工面中，操作人员能够容易判断焦点确认用的激光的焦点位置对齐。激光加工装置(1)具备：加工用相关数据管理部(571)，管理使焦点透镜(45)的光轴方向的位置与利用焦点透镜(45)使加工光聚光时的加工用的焦点位置对应起来的加工用相关数据；焦点确认用相关数据管理部(572)，管理或者制作使焦点透镜(45)的光轴方向的位置与利用焦点透镜(45)使引导光聚光时的焦点确认用的焦点位置对应起来的焦点确认用相关数据；和透镜驱动机构控制部(602)，在第1模式下基于上述加工用相关数据使焦点透镜(45)在光轴方向上移动，在第2模式下基于上述焦点确认用相关数据使焦点透镜(45)在光轴方向上移动。

主权项

1.一种激光加工装置，具备：第1光源，其出射加工用的激光；第2光源，其出射波长与所述加工用的激光不同的焦点确认用的激光；焦点透镜，其使从所述第1光源或者所述第2光源出射的激光分别同轴地朝向对象物聚光；反射镜机构，其将透过了所述焦点透镜的激光向对象物侧反射；和透镜驱动机构，其使所述焦点透镜在激光的光轴方向上移动，所述激光加工装置使从所述第1光源或者所述第2光源出射的激光经由所述焦点透镜和所述反射镜机构向对象物照射，其特征在于，所述激光加工装置具备：加工用相关数据管理部，其管理将所述焦点透镜的光轴方向的位置与利用所述焦点透镜使加工用的激光聚光时的加工用的焦点位置对应起来的加工用相关数据；焦点确认用相关数据管理部，其管理或者制作将所述焦点透镜的光轴方向的位置与利用所述焦点透镜使焦点确认用的激光聚光时的焦点确认用的焦点位置对应起来的焦点确认用相关数据；和透镜驱动机构控制部，其在第1模式下，在所述加工用相关数据中，基于与作为目标的加工用的所述焦点位置对应的所述焦点透镜的光轴方向的位置，使所述焦点透镜在光轴方向上移动，在第2模式下，在所述焦点确认用相关数据中，基于与作为目标的焦点确认用的所述焦点位置对应的所述焦点透镜的光轴方向的位置，使所述焦点透镜在光轴方向上移动。