[发明专利]铁电器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201811365456.2 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN110137180B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 刘香根 | 申请（专利权）人： | 爱思开海力士有限公司 |
| 主分类号： | H10B51/00 | 分类号： | H10B51/00;H10B51/30 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 许伟群;郭放 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铁电器件及其制造方法。在制造铁电器件的方法中，提供衬底。在衬底之上形成铁电材料膜。在铁电材料膜之上形成结晶化晶种膜。利用结晶化晶种膜对铁电材料膜热处理，以将铁电材料膜转变为结晶铁电膜。去除结晶化晶种膜以暴露结晶铁电膜。在铁电膜之上形成电极膜。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造铁电器件的方法，所述方法包括：提供衬底；在所述衬底之上形成铁电材料膜；在所述铁电材料膜之上形成结晶化晶种膜；对所述铁电材料膜热处理，以将所述铁电材料膜转变为结晶铁电膜；去除所述结晶化晶种膜以暴露所述结晶铁电膜；以及在所述结晶铁电膜之上形成电极膜。
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