[发明专利]用于阻抗网络调谐的具有相位检测的射频加热系统

摘要

本发明涉及用于阻抗网络调谐的具有相位检测的射频加热系统。提供用于调谐装置的阻抗网络的系统和方法。通过连接到阻抗匹配网络的传输路径提供RF信号，所述阻抗匹配网络包括第一可变分量和第二可变分量。确定沿着所述传输路径的前向信号与反射信号之间的相位角。基于所述前向信号与所述反射信号之间的所述相位角，修改所述第一可变分量以改进RF信号源与电极之间的阻抗匹配。在修改所述第一可变分量之后，确定所述反射信号的功率与所述前向信号的功率的比率，且修改所述第二可变分量的电感以减小所述反射信号的功率与所述前向信号的功率的所述比率。

主权项

1.一种系统，其特征在于，包括：射频(RF)信号源，其被配置成供应RF信号；阻抗匹配网络，其电耦合到所述RF信号源的输出，所述阻抗匹配网络包括：第一可变电感网络，以及第二可变电感网络；传输路径，其电耦合于所述阻抗匹配网络与电极之间，其中所述RF信号沿着所述传输路径产生前向信号；功率检测电路，其被配置成确定沿着所述传输路径的所述前向信号与反射信号之间的相位角；以及控制器，其被配置成：确定所述前向信号与所述反射信号之间的所述相位角大于阈值相位角值，基于所述前向信号与所述反射信号之间的所述相位角修改所述第一可变电感网络，以修改所述阻抗匹配网络的串联电感，从而将所述前向信号与所述反射信号之间的所述相位角减小到小于所述阈值相位角值的第一相位角，确定所述反射信号的功率与所述前向信号的功率的比率大于阈值功率比，且在修改所述阻抗匹配网络的所述串联电感之后，修改所述第二可变电感网络以修改所述阻抗匹配网络的并联电感，从而将所述反射信号的功率与所述前向信号的功率的所述比率减小到小于所述阈值功率比的第一功率比。