[发明专利]一种通过颜色指示压力的MEMS压力传感器及其测量方法在审

专利信息
申请号: 201811366141.X 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN109520647A 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 黄晓东;李帆;黄见秋;黄庆安 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01L1/16 分类号: G01L1/16
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 楼高潮
地址: 214135 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提出一种MEMS压力传感器及其压力测试方法,该MEMS压力传感器包括设置在第二衬底的第二表面上的压力敏感单元、电致变色单元、第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、电源;所述第二衬底的相对于所述第二表面的第一表面上形成凹槽,所述压力敏感单元正对所述凹槽设置,所述电致变色单元设置在所述压力敏感单元周边,所述第一开关、所述第二开关的两侧分别连接所述电致变色单元与压力敏感单元,所述第三开关、所述第四开关的两侧分别连接所述电致变色单元和所述电源,所述压力敏感单元包括压电层。与现有技术相比,本发明无需使用接口电路即可实现环境压力的测量,通过眼睛观察颜色可获得环境压力,具有设计和制备简单、成本低、功耗低等优点。
搜索关键词: 压力敏感单元 电致变色单元 第二表面 第一开关 环境压力 衬底 电源 测量 凹槽设置 第一表面 使用接口 压力测试 颜色指示 眼睛观察 压电层 功耗 正对 制备 电路
【主权项】:
1.一种MEMS压力传感器,其特征在于,所述MEMS压力传感器包括设置在第二衬底的第二表面上的压力敏感单元、电致变色单元、第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、电源;所述第二衬底的相对于所述第二表面的第一表面上形成凹槽,所述压力敏感单元正对所述凹槽设置,所述电致变色单元设置在所述压力敏感单元周边,所述第一开关、所述第二开关的两侧分别连接所述电致变色单元与压力敏感单元,所述第三开关、所述第四开关的两侧分别连接所述电致变色单元和所述电源,所述压力敏感单元包括压电层。
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