[发明专利]一种通过颜色指示压力的MEMS压力传感器及其测量方法在审
| 申请号： | 201811366141.X | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109520647A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;李帆;黄见秋;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214135 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种MEMS压力传感器及其压力测试方法，该MEMS压力传感器包括设置在第二衬底的第二表面上的压力敏感单元、电致变色单元、第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、电源；所述第二衬底的相对于所述第二表面的第一表面上形成凹槽，所述压力敏感单元正对所述凹槽设置，所述电致变色单元设置在所述压力敏感单元周边，所述第一开关、所述第二开关的两侧分别连接所述电致变色单元与压力敏感单元，所述第三开关、所述第四开关的两侧分别连接所述电致变色单元和所述电源，所述压力敏感单元包括压电层。与现有技术相比，本发明无需使用接口电路即可实现环境压力的测量，通过眼睛观察颜色可获得环境压力，具有设计和制备简单、成本低、功耗低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 压力敏感单元 电致变色单元 第二表面 第一开关 环境压力 衬底 电源 测量 凹槽设置 第一表面 使用接口 压力测试 颜色指示 眼睛观察 压电层 功耗 正对 制备 电路 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS压力传感器，其特征在于，所述MEMS压力传感器包括设置在第二衬底的第二表面上的压力敏感单元、电致变色单元、第一开关、第二开关、第三开关、第四开关、电源；所述第二衬底的相对于所述第二表面的第一表面上形成凹槽，所述压力敏感单元正对所述凹槽设置，所述电致变色单元设置在所述压力敏感单元周边，所述第一开关、所述第二开关的两侧分别连接所述电致变色单元与压力敏感单元，所述第三开关、所述第四开关的两侧分别连接所述电致变色单元和所述电源，所述压力敏感单元包括压电层。
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