[发明专利]一种真空系统内电极间距可调的场致发射测试装置及方法在审
| 申请号： | 201811367414.2 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109613064A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 裴晓强;成永军;丁栋;习振华;董猛;孙健;汪宁 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 付雷杰;高燕燕 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空系统内电极间距可调的场致发射测试装置及方法,包括电流表、真空系统和放置其中的场致发射材料固定座、螺旋测微器、螺旋测微器支撑座、套筒、方键传动轴、步进电机和底座；场致发射材料固定座、螺旋测微器支撑座和步进电机固定在底座上；场致发射材料固定在场致发射材料固定座；螺旋测微器固定在螺旋测微器支撑座的通孔内，使其测杆端朝向场致发射材料，其旋转端与方键传动轴的一端通过套筒固定连接；螺旋测微器上电连接引出线A，其引出真空系统后接设定电压；方键传动轴的另一端与步进电机的转轴连接；场致发射材料固定座为导体；场致发射材料固定座上电连接引出线B再引出真空系统后串接电流表再接大地。 | ||
| 搜索关键词： | 场致发射材料 螺旋测微器 真空系统 固定座 步进电机 传动轴 支撑座 方键 测试装置 场致发射 间距可调 电流表 内电极 接引 上电 套筒 底座 出线 发射材料 转轴连接 导体 旋转端 测杆 串接 通孔 | ||
【主权项】：
1.一种真空系统内电极间距可调的场致发射测试装置，其特征在于，包括真空系统、电流表和放置在真空系统内的场致发射材料固定座(1)、螺旋测微器(4)、螺旋测微器支撑座(5)、套筒(6)、方键传动轴(7)、步进电机(8)和底座(10)；所述场致发射材料固定座(1)、螺旋测微器支撑座(5)和步进电机(8)固定在所述底座(10)上；场致发射材料(3)固定在所述场致发射材料固定座(1)；所述螺旋测微器(4)固定在所述螺旋测微器支撑座(5)上，所述螺旋测微器支撑座(5)上设置通孔，所述螺旋测微器(4)穿过该通孔，使其测杆端朝向所述场致发射材料(3)，其旋转端与所述方键传动轴(7)的一端通过所述套筒(6)固定连接；所述螺旋测微器(4)上电连接引出线A(11)，所述引出线A(11)引出真空系统后接设定电压；所述方键传动轴(7)的另一端与所述步进电机(8)的转轴连接；所述步进电机(8)的控制线(9)引出到真空系统之外；所述场致发射材料固定座(1)为导体；所述场致发射材料固定座(1)上电连接引出线B(12)的一端，所述引出线B(12)的另一端引出真空系统后串接电流表再接大地，所述电流表用于测量场致发射电流。
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