[发明专利]蓝光边发射激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811372243.2 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109378708B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 孙慧卿;李书朋;郭志友 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | H01S5/323 | 分类号： | H01S5/323 |
| 代理公司： | 44245 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 510631 广东省广州市天河区中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及蓝光边发射激光器及其制备方法，其包括依次层叠于衬底上的外延结构，其特征在于，所述外延结构包括N型缓冲层、N型限制层、N型波导层、量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型缓冲层以及欧姆接触层，在所述边发射激光器的出光面设置有石墨烯层与金颗粒的复合结构。本发明将通过石墨烯与金颗粒的复合结构与激光器的激光耦合，产生等离子激元效应，通过金属成分的等离激元效应增强光吸收，然后将吸收的光传输到石墨烯部分，将光场限制在衍射极限以下，提升了蓝光波段边发射激光器的发射效率。并且本发明提供的用于边发射激光器的石墨烯与金颗粒的复合结构，其制备工艺简单，并且与本发明的边发射激光器制备工艺完全兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 边发射激光器 复合结构 金颗粒 石墨烯 外延结构 制备工艺 量子阱有源区 等离子激元 欧姆接触层 等离激元 发射效率 激光耦合 蓝光波段 石墨烯层 衍射极限 依次层叠 激光器 出光面 光传输 光吸收 衬底 光场 蓝光 制备 兼容 金属 吸收 | ||
【主权项】：
1.蓝光边发射激光器，其包括依次层叠于衬底上的外延结构，其特征在于，所述外延结构包括依次层叠的N型缓冲层、N型限制层、N型波导层、量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型缓冲层以及欧姆接触层，在所述边发射激光器的出光面设置有单层石墨烯与金颗粒的复合结构。/n
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