[发明专利]浅沟槽隔离结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201811372753.X | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111199911A | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/762 | 分类号： | H01L21/762 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种浅沟槽隔离结构及其制作方法，浅沟槽隔离结构包括：衬底，衬底中形成有第一沟槽以及与沟槽底部连通的第二沟槽，第二沟槽的顶部宽度大于沟槽的底部宽度；侧壁保护层，形成于沟槽的侧壁；以及绝缘材料，填充于第二沟槽以及第一沟槽中。本发明通过对第一沟槽的侧壁进行保护后进一步刻蚀出延伸沟槽，通过热氧化及去除热氧化层的方法，扩展了延伸沟槽的宽度，避免浅沟槽隔离结构出现锥形结构而影响蚀刻深度和沟槽宽度的问题，可有效增强浅沟槽隔离结构的隔离效果。本发明在浅沟槽隔离结构的侧壁增加侧壁保护层，可有效增加浅沟槽隔离结构的势垒，防止热载流子进入到沟槽内，减小漏电流的产生，提高晶体管之间的隔离效果。 | ||
| 搜索关键词： | 沟槽 隔离 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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