[发明专利]一种催化分解氮氧化合物的传感器芯片

摘要

本发明公开了一种催化分解氮氧化合物的传感器芯片，包括测试腔一﹑进气口﹑测试腔二﹑参比腔﹑NOX转化腔﹑加热层﹑感应电极一﹑感应电极二﹑参比电极一﹑参比电极二﹑固体电解质，测试腔一位于传感器芯片左侧，进气口位于测试腔一上面，NOX转化腔测试腔二依次位于测试腔一右侧，测试腔一内侧底部有感应电极一，测试腔二内侧底部有感应电极二，参比腔位于测试腔一测试腔二NOX转化腔的下方，参比电极一和参比电极二位于参比腔的上部，加热层位于参比腔下方。本发明解决了原有NOX传感器芯片整体繁杂，芯片制作工艺难道大，成品率低的问题，适合在汽车传感器生产制造中推广使用。

主权项

1.一种催化分解氮氧化合物的传感器芯片，包括测试腔一﹑进气口﹑测试腔二﹑参比腔﹑NOX转化腔﹑加热层﹑感应电极一﹑感应电极二﹑参比电极一﹑参比电极二﹑固体电解质，测试腔一位于传感器芯片整体的左侧，进气口位于测试腔一的外侧壁上面，进气口使测试腔一内外连通，测试腔一的右侧有NOX转化腔，NOX转化腔的右侧有测试腔二，所述测试腔一和测试腔二通过NOX转化腔相互连通，NOX转化腔内固定安装有铑催化剂，所述铑催化剂为纳米颗粒状或网格状或纳米颗粒网格组合状，所述测试腔一的内侧底部有感应电极一，测试腔二的内侧底部有感应电极二，所述参比腔整体位于测试腔一测试腔二NOX转化腔的下方，参比电极一和参比电极二位于参比腔的上部，参比电极一与感应电极一的位置相互对应，参比电极二与感应电极二的位置相互对应，所述测试腔一﹑测试腔二﹑参比腔﹑NOX转化腔﹑感应电极一﹑感应电极二﹑参比电极一和参比电极二通过固体电解质充满相互之间空隙，使它们形成一个整体，所述加热层有加热电极和陶瓷绝缘层，加热电极整体嵌装在陶瓷绝缘层内，所述加热层整体位于参比腔的下方，所述测试腔一进气口测试腔二参比腔NOX转化腔加热层感应电极一感应电极二参比电极一参比电极二固体电解质形成一个传感器芯片整体。