[发明专利]孔径光阑系统、电子束曝光装置和电子束曝光装置系统有效
| 申请号： | 201811375176.X | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN109917621B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李炫浩;朴钟文;安秉燮;崔振;玉虫秀一 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种孔径光阑系统、电子束曝光装置以及电子束曝光装置系统。一种电子束装置的孔径光阑系统，包括：多个孔径光阑板，所述多个孔径光阑板中的每个孔径光阑板包括第一区域和第二区域，所述第一区域包括至少一个允许电子束穿过的通孔，所述第二区域设置在所述第一区域的外部并包括第一对准键和第二对准键，其中所述多个孔径光阑板中的两个光阑板包括布置在相互交叠的位置并且尺寸相同的所述第一对准键，所述多个孔径光阑板中的除所述两个孔径光阑板之外的孔径光阑板包括布置为与所述第一对准键交叠并且面积大于所述第一对准键的面积的所述第二对准键。 | ||
| 搜索关键词： | 孔径 光阑 系统 电子束 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束装置的孔径光阑系统，所述孔径光阑系统包括：多个孔径光阑板，所述多个孔径光阑板中的每个孔径光阑板包括第一区域和第二区域，所述第一区域包括至少一个允许电子束穿过的通孔，所述第二区域设置在所述第一区域的外部并包括第一对准键和第二对准键，其中，所述多个孔径光阑板中的第一孔径光阑板和第二孔径光阑板分别包括布置在相互交叠的位置并且尺寸相同的所述第一对准键，以及其中，所述多个孔径光阑板中的第三孔径光阑板包括布置为与所述第一孔径光阑板和第二孔径光阑板的所述第一对准键交叠并且面积大于所述第一孔径光阑板和第二孔径光阑板的所述第一对准键的面积的所述第二对准键。
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