[发明专利]一种基于可变磁场及自由电极的半导体特性稳定测量系统

摘要

本发明公开一种基于可变磁场及自由电极的半导体特性稳定测量系统，其包括磁体变位器、自由样品台、磁体‑分析仪分离模块，所述磁体变位器、自由样品台、磁体‑分析仪分离模块采用PLA塑料与铜金属材料等抗磁材料，使磁体远离测试系统探针，使系统在磁学上与磁体分离，保证磁体控制与样品性质测量的稳定性，弥补了现有半导体参数测量系统无法将磁场、光场一体化的空白。另一方面，磁体变位自由度高，可提供大小、角度、方向连续可调的磁场，可支持实验研究自变量的均匀变化。

主权项

1.一种基于可变磁场及自由电极的半导体特性稳定测量系统，其特征在于：其包括磁体变位器、自由样品台、磁体‑分析仪分离模块，磁体变位器包括磁体空间架、磁体、塑料衬盘、第一铜丝、第二铜丝和特斯拉计，自由样品台放置于磁体空间架的上表面，磁体空间架两侧内分别具有竖直设置的通道，塑料衬盘设于磁体空间架的两侧之间，磁体置于塑料衬盘上，磁体空间架对应塑料衬盘上方转动设有第一旋转铜杆和第二旋转铜杆，第一铜丝的一端固定于第一旋转铜杆上，第一铜丝的另一端绕过塑料衬盘的一侧底部后固定于第一旋转铜杆上，第二铜丝的一端固定于第二旋转铜杆上，第二铜丝的另一端绕过塑料衬盘的另一侧底部后固定于第二旋转铜杆上，第一旋转铜杆和第二旋转铜杆两端均穿过磁体空间架的侧面，自由样品台包括多孔板、玛瑙球、第一铟电极和第二铟电极，多孔板置于磁体空间架上，多孔板上表面设有至少3个圆孔，其中两个圆孔分别用于设置第一铟电极与第二铟电极；玛瑙球放置于其他任一圆孔内，并与第一铟电极和第二铟电极的位置形成三角形阵列；样品放置于该三角形阵列形成的平面并平行于多孔板设置，样品与第一铟电极、第二铟电极充分接触，玛瑙球通过改变在多孔板上孔洞的位置，来平衡样品；特斯拉计的测试探针与样品的上表面，特斯拉计用于检测样品处磁场强度；所述磁体‑分析仪分离模块包括两条导线，第一铟电极与第二铟电极各自对应连接一条导线的一端，两条导线的另一端分别穿过磁体空间架对应侧面内的通道并从磁体空间架底部的孔洞向外侧水平延伸L长度的距离，磁体在两条导线的另一端的末端产生的磁场强度H＜1Oe，两条导线的另一端分别接入半导体参数分析仪的探测频道。