[发明专利]一种基于阵列光波导和MEMS微镜的1×N端口光开关

摘要

本发明公开了一种基于阵列光波导和MEMS微镜的1×N端口光开关，它由两个阵列光波导芯片、一个准直聚焦透镜以及一个MEMS微镜组成，两个阵列光波导芯片贴装在一起，阵列光波导的端面和MEMS微镜分别置于透镜的前后焦面上。光信号从一条中心光波导输入，经过透镜准直后，在MEMS微镜表面发生发射，再次通过透镜聚焦后到达相应的输出波导。通过控制MEMS微镜的偏置电压，可控制微镜在x、y方向上的偏转角度，从而达到选择输出波导的目的。阵列光波导芯片的左侧波导间距与常规光纤阵列相同，右侧波导间距通过弯曲波导减到足够小，以不发生光信号的串扰为限。在MEMS微镜最大偏角受限的情况下，本发明的1×N端口光开关，可实现更大的输出端口数。

主权项

1.一种基于阵列光波导和MEMS微镜的1×N端口光开关，其特征在于，包括：两个阵列光波导芯片(1‑2)，准直聚焦透镜(3)和MEMS微镜(4)；所述两个阵列光波导芯片(1‑2)贴装在一起，且上层的中心光波导作为信号光的输入端，其他波导均作为可选择的输出端；所述阵列光波导芯片(1‑2)靠近所述准直聚焦透镜(3)的一端位于所述准直聚焦透镜(3)的前焦面上；所述MEMS微镜(4)位于准直聚焦透镜(3)的后焦面上。