[发明专利]具有能量采集器的微机电系统MEMS惯性传感器和相关方法有效
| 申请号： | 201811379525.5 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109813932B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张欣 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有能量采集器的微机电系统MEMS惯性传感器和相关方法。描述微机电系统(MEMS)设备。MEMS设备可包括惯性传感器和能量采集器，其配置为将机械振动能转换成电能。所收集的能量可用于为电子电路供电，例如用于感测来自惯性传感器的加速度的电路。惯性传感器和能量采集器可以设置在同一基板上，并且可以共享相同的检测质量块。能量采集器可包括设置在柔性结构上的压电材料层。当柔性结构响应于振动而弯曲时，压电材料层中产生应力，这导致电的产生。惯性传感器的例子包括加速度计和陀螺仪。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 能量 采集 微机 系统 mems 惯性 传感器 相关 方法 | ||
【主权项】：
1.微机电系统(MEMS)设备，包括：具有顶部表面的基板；惯性传感器，包括耦合到所述基板的检测质量块，所述惯性传感器被配置为沿至少一个轴感测所述检测质量块的运动；和能量采集器，包括在所述基板和所述检测质量块之间形成的压电材料层，其中所述压电材料层被配置为响应于所述检测质量块相对于所述基板的顶部表面的运动而产生电信号。
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