[发明专利]一种两级压缩离子门及控制方法有效

专利信息
申请号: 201811381284.8 申请日: 2018-11-20
公开(公告)号: CN111199865B 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 李海洋;陈红;蒋丹丹;厉梅 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/00
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 马驰
地址: 116023 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及一种两级压缩离子门及控制方法。该离子门由依次设置在离子迁移管内的离子源和离子接收极法拉第盘之间的三个平行,同轴,间隔的栅网一、栅网二和栅网三组成。栅网一和离子源之间的区域为反应区,栅网三与法拉第盘之间的区域为迁移区。通过周期性控制该离子门中三个栅网之间的电场,实现离子在注入迁移区过程中的两级压缩。其中,离子在穿过栅网三后被压缩一次,在穿过栅网三后面的导电环后再被压缩一次。这种离子门和控制方法,可以对注入的离子团进行两级压缩,实现分辨率和灵敏度的同时提高。
搜索关键词: 一种 两级 压缩 离子 控制 方法
【主权项】:
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