[发明专利]一种具有多重安全保护的单晶炉在审
| 申请号： | 201811382526.5 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109306511A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李世杰;赵京通;李润飞;李永哲;侯颖;张路法;王瑞贤;张松;高志民 | 申请（专利权）人： | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄德皓专利代理事务所(普通合伙) 13129 | 代理人： | 杨瑞龙 |
| 地址： | 055550 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有多重安全保护的单晶炉，其包括下炉室、炉盖、隔离阀、副室、上传动机构、设置在下炉室内的水冷热屏、导流筒、导流筒提升装置、石英埚及下传动机构，还包括触液接触系统，称重系统，CCD监测系统、隔离阀安全监测系统。触液接触系统能够检测到硅液液位过高的异常运行并报警，系统自动高速下降坩埚，并同时提升水冷热屏，避免产生漏水事故。称重系统在拉晶过程中上传动实时检测拉制的硅棒重量，当硅棒重量出现瞬间突增或突减时，系统停止运行，并报警。CCD监测系统能够监测到石英埚中液面位置发生异常变动并报警。隔离阀安全监测系统能够提供晶棒位置监测，提高阀板启闭安全保护。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离阀 安全监测系统 多重安全保护 称重系统 接触系统 单晶炉 导流筒 石英埚 报警 冷热 硅棒 下传动机构 安全保护 漏水事故 实时检测 提升装置 位置监测 系统停止 下降坩埚 液面位置 液位过高 异常运行 自动高速 拉制 下炉室 传动 阀板 副室 硅液 晶棒 拉晶 炉盖 启闭 室内 监测 检测 | ||
【主权项】：
1.一种具有多重安全保护的单晶炉，其包括下炉室（2）、炉盖（1）、隔离阀（10）、副室、上传动机构（19）、设置在下炉室（2）内的水冷热屏（3）、导流筒（4）、导流筒提升装置（11）、石英埚（5）及下传动机构，其特征在于，还包括：触液接触系统，其包括触液丝（9）、密封座及传导丝（18），所述触液丝（9）通过设置在炉盖（1）上的密封座伸入到下炉室（2）内固定在水冷热屏（3）上，触液丝（9）的下端头与所述石英埚（5）内的硅液之间留有一段安全距离，所述触液丝（9）的上端头与所述传导丝（18）连接，传导丝（18）与控制器连接，正常状态下次系统为开路状态，当触液丝（9）接触到石英埚（5）内硅液时形成通路，控制器控制下传动机构动作下降石英埚（5），同时控制导流筒提升装置（11）提升水冷热屏（3）；称重系统，所述上传动机构（19）上设置有称重模块（23），所述称重模块（23）连接控制器。
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