[发明专利]金属镀层厚度的测量方法在审
| 申请号： | 201811382725.6 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109269451A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李建强;杨金虎;乔彦彬;隗合鹏;陈燕宁;原义栋 | 申请（专利权）人： | 北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 王芊雨;高清峰 |
| 地址： | 100192 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种金属镀层厚度的测量方法，所述测量方法是通过聚焦离子束测量方法结合扫描电子显微镜进行测量的，该测量方法能够实现对电子镀层、材料表面的涂层进行精确测量，精度在纳米级，能有效进行鉴别鉴伤。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 金属镀层 扫描电子显微镜 聚焦离子束 纳米级 镀层 鉴别 | ||
【主权项】：
1.一种金属镀层厚度的测量方法，其特征在于，所述测量方法是通过聚焦离子束测量方法结合扫描电子显微镜进行测量的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司，未经北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811382725.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
