[发明专利]位移检测方式的六轴力传感器

摘要

本发明提供一种位移检测方式的六轴力传感器。六轴力传感器具备：第一端部；第二端部；中间部；将第一端部和中间部以第一三自由度弹性地连结的第一连结部；将第二端部和中间部以第二三自由度弹性地连结的第二连结部；检测伴随第一连结部的弹性变形的第一端部与中间部的相对位移的第一检测部；以及检测伴随第二连结部的弹性变形的第二端部与中间部的相对位移的第二检测部。中间部、第一连结部以及第二连结部配置为，使施加于第一端部或第二端部的力不沿中间部传播地施加于第一连结部及第二连结部双方。

主权项

1.一种六轴力传感器，其特征在于，具备：第一端部；第二端部；上述第一端部与上述第二端部之间的中间部；第一连结部，其将上述第一端部和上述中间部以第一三自由度弹性地连结；第二连结部，其将上述第二端部和上述中间部以第二三自由度弹性地连结；第一检测部，其对伴随上述第一连结部的弹性变形的上述第一端部与上述中间部的相对位移进行检测，且基于该相对位移输出第一检测值，该第一检测值用于取得施加于上述第一端部或上述第二端部的力的第一轴的方向的第一力成分、与该第一轴正交的第二轴的方向的第二力成分、以及绕与该第一轴和该第二轴双方正交的第三轴的第三力矩成分；以及第二检测部，其对伴随上述第二连结部的弹性变形的上述第二端部与上述中间部的相对位移进行检测，且基于该相对位移输出第二检测值，该第二检测值用于取得上述力的绕上述第一轴的第一力矩成分、绕上述第二轴的第二力矩成分、以及上述第三轴的方向的第三力成分，上述中间部、上述第一连结部以及上述第二连结部配置为，使上述力在上述第一连结部与上述第二连结部之间不沿上述中间部传播地施加于上述第一连结部及上述第二连结部双方。