[发明专利]一种起爆器爆炸桥箔的制作方法有效
| 申请号： | 201811385797.6 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109556463B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 潘婷;邓勇生;戚云娟;戚龙;薛小婷;王莹 | 申请（专利权）人： | 陕西电器研究所 |
| 主分类号： | F42B3/10 | 分类号： | F42B3/10;F42B3/195;C23C14/32;C23C14/18;C23C14/04 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 佘文英 |
| 地址： | 710025 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种起爆器爆炸桥箔的制作方法，包括陶瓷基底的表面处理，陶瓷基底经过表面处理研磨抛光后，表面粗糙度达到小于15nm时，将陶瓷基底放入酒精进行超声波清洗干净并用氮气吹干，在待镀膜面上均匀涂覆一层光刻胶，通过紫外光刻工艺在光刻胶表面制作特定的桥箔掩膜图形，将胶膜经过固胶处理后，采用双离子束溅射镀膜工艺在陶瓷基底待镀膜面叠加沉积纯钛、纯铜和纯金三种膜层，桥箔制作结束后放入酒精进行超声波清洗去胶获得最终的桥箔图形，桥箔电阻值范围为30～50Ω。采用该工艺制作的爆炸桥箔与基底的附着力较高，桥箔纯度高使桥箔在燃爆过程中能量利用率高，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 起爆 爆炸 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种起爆器爆炸桥箔的制作方法，其特征在于：首先对陶瓷基底(1)的表面处理，然后通过紫外光刻工艺将桥箔(2)的掩膜图形制作在陶瓷基底(1)表面，再通过双离子束溅射镀膜工艺完成桥箔(2)沉积。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西电器研究所，未经陕西电器研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811385797.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
