[发明专利]一种防止氮气内漏的装置在审
| 申请号： | 201811387415.3 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN111207303A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 陈水波 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区可伦坡系统集成科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/02 | 分类号： | F17D5/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 周高 |
| 地址： | 215001 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止氮气内漏的装置，用于供气设备，供气设备包括复数个气体钢瓶、供气总管、氮气总管，气体钢瓶通过对应的供气通道与供气总管连接，气体钢瓶通过对应的氮气通道与氮气总管连接，供气通道上设有供气管关断阀。氮气通道上设有扫净关断阀、压力检测器、真空抽气机构和氮气隔离阀，扫净关断阀靠近气体钢瓶，氮气隔离阀靠近氮气总管，压力检测器和真空抽气机构分别设于扫净关断阀和氮气隔离阀之间，压力检测器与控制器连接，控制器与压力警报器连接。本发明的防止氮气内漏的装置，用以解决现有技术中氮气内漏污染制程气体，造成产品的报废且不易甄别等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 氮气 装置 | ||
【主权项】：
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