[发明专利]一种圆环形直流VUV光电离源及应用有效
| 申请号： | 201811387775.3 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN111211036B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王卫国;黄卫;李海洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/16 | 分类号： | H01J49/16;H01J49/26;G01N27/64 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种圆环形直流VUV光电离源，包括放电腔、圆环形放电电极对、供电电源；所述放电腔为径向截面圆环形中空密闭腔体，是由二个二端开口同轴心圆筒套置后、二个圆筒的二端间密闭连接构成，所述放电腔内筒采用透光材料制成作为光学窗口，于外筒靠近两端的外壁面上分别设有第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极及第三圆环状电极；第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极中一个为参考地电极，另一个为高压电极，分别与位于第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极中间的第三圆环状电极形成放电电极对，利用第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极之间的电压差产生的电场把电离反应区中形成的离子引出电离反应区。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆环 直流 vuv 电离 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院大连化学物理研究所，未经中国科学院大连化学物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811387775.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高清LED显示屏防漏光反射片
- 下一篇：一种高效VUV光电离源及应用
