[发明专利]一种含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜及制备方法

摘要

本发明公开了一种含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜及制备方法，该复合膜由面心立方结构的(CrTa)N置换固溶体和面心立方结构的Ag两相构成；制备时先将基体置于溅射室内，调节真空度6.0×10‑4Pa以下，通入氩气起弧，启动Cr靶、Ta靶和Ag靶，以功率均为20‑30W进行预溅射10‑15min，其次将Cr靶以功率150W在基体上沉积Cr过渡层，并通入N2，随后将Cr靶以功率150W、Ta靶以功率50W和Ag靶以功率20‑60W，在溅射气压0.3Pa条件下共溅射，制得银/氮化铬基硬质纳米结构复合膜。本发明的复合膜不仅高硬度且具有优异的摩擦磨损性能；同时制法简单，效率高。

主权项

1.一种含银的氮化铬基硬质纳米结构复合膜，其特征在于：该复合膜由面心立方结构的(CrTa)N置换固溶体和面心立方结构的Ag两相构成，其化学式为(CrTa)N/Ag。