[发明专利]一种钛基底着多重及图案化颜色的方法有效

专利信息
申请号: 201811389566.2 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN109267026B 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 杨峰;米雅民·萨尔曼·卡齐姆;孙柏;赵勇 申请(专利权)人: 西南交通大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/04;C23C14/54
代理公司: 成都信博专利代理有限责任公司 51200 代理人: 刘凯
地址: 610031 四川省成都市*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开一种钛基底着多重及图案化颜色的方法,在腔室真空度为预设的高压环境下,通过磁控溅射仪向钛基底上采用ZnO进行第一层溅射,溅射时长为t1,溅射厚度为h1,完成第一层着色;在第一层着色的基础上,再采用MoS2进行第二层溅射,溅射时长为t2,溅射厚度为h2,颜色转变为目标色;通过控制溅射时长t1和t2,溅射厚度h1和h2,以及溅射的区域,实现不同颜色的图案化。本发明可在钛基底上沉积多层膜,进而进行颜色调控,加掩膜板,可以实现图案化,且易于实现,利于大规模推广。
搜索关键词: 一种 基底 多重 图案 颜色 方法
【主权项】:
1.一种钛基底着多重及图案化颜色的方法,其特征在于,在腔室真空度为预设的高压环境下,通过磁控溅射仪向钛基底上采用ZnO进行第一层溅射,溅射时长为t1,溅射厚度为h1,完成第一层着色;在第一层着色的基础上,再采用MoS2进行第二层溅射,溅射时长为t2,溅射厚度为h2,颜色转变为目标色;通过控制溅射时长t1和t2,溅射厚度h1和h2,以及溅射的区域,实现不同颜色的图案化。
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