[发明专利]质量流量控制装置、反应腔室压力控制系统及调节方法有效
| 申请号： | 201811390438.X | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN111208853B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 陈正堂;苏乾益 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的质量流量控制装置和反应腔室压力控制系统，包括质量流量管路、流量控制模块和驱动模块，其中，流量控制模块设置在质量流量管路上，用于限制流经的气体流量，驱动模块与流量控制模块连接，用于驱动流量控制模块移动，以调整流经流量控制模块的气体流量。由于在管路上设置流量控制模块，并由驱动模块驱动流量控制模块，从而在完全打开和完全关闭两种状态之间，还能够调节流经流量控制模块的流量，进而提高质量流量控制装置的控制精度。本发明提供的反应腔室的压力调节方法，能够通过质量流量控制装置调节流量，来调节反应腔室的压力，具有相应时间快、压力调节精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量 控制 装置 反应 压力 控制系统 调节 方法 | ||
【主权项】：
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