[发明专利]一种带光学平板微扫描器的制冷型显微热成像装置及方法

摘要

本发明公开一种带光学平板微扫描器的制冷型显微热成像装置及方法。该显微热成像装置包括制冷焦平面探测器、红外显微物镜、红外光学平板、光学平板支座、自动旋转平台；红外显微物镜位于自动旋转平台的下方；光学平板支座固定在自动旋转平台上，红外光学平板与红外显微物镜的光轴保持倾角θ并固定在光学平板支座上。本发明通过在红外显微物镜和制冷焦平面探测器之间插入光学平板微扫描器，得到一种带光学平板微扫描器的制冷型显微热成像装置及方法，相比相同倍率和相同制冷焦平面探测器的显微热成像装置具有更高的空间分辨力和温度分辨力。

主权项

1.一种带光学平板微扫描器的制冷型显微热成像装置，其特征在于，包括微扫描显微红外热像仪和图像处理装置；所述微扫描显微红外热像仪包括：制冷焦平面探测器、红外显微物镜、光学平板微扫描器；所述光学平板微扫描器包括：红外光学平板、光学平板支座、自动旋转平台；其中，所述红外显微物镜位于所述自动旋转平台的下方，用于捕获待成像物体的红外辐射图像并放大成像在所述制冷焦平面探测器上；所述光学平板支座固定在所述自动旋转平台上，所述红外光学平板与所述红外显微物镜的光轴保持倾角θ并固定在所述光学平板支座上；所述制冷焦平面探测器位于所述红外光学平板的上方，与所述图像处理装置连接，用于将所述红外辐射图像转换为模拟电子图像，并依次输出至图像处理装置。