[发明专利]3D蒸镀的公自转镀锅结构有效
| 申请号： | 201811393551.3 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN111206225B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 陈家璧;薛文皓;罗世欣 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种3D蒸镀的公自转镀锅结构，其包括：公转底盘；公转顶盘借由支撑件环绕运行于公转底盘；镀锅自转模块，具有悬臂结合于公转顶盘；又其齿轮盘结合于悬臂的底侧；及其自转镀盘结合于悬臂且环绕运行于圆形环绕轨道；以及多个晶圆载盘，借由转轴固设于自转镀盘上，又借由外环状齿牙与齿轮盘转动结合。 | ||
| 搜索关键词： | 自转 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于聚昌科技股份有限公司，未经聚昌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811393551.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种个性化无人商店管理方法
- 下一篇：一种客车应急逃生窗机构
- 同类专利
- 专利分类
