[发明专利]器件在片负载牵引测试的校准结构设计及测试方法在审
| 申请号： | 201811395768.8 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109581259A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陆海燕 | 申请（专利权）人： | 南京中电芯谷高频器件产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210001 江苏省南京市秦淮区永*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种器件在片负载牵引测试的校准结构，包括开路、短路、负载和直通四部分，所述负载、开路、短路、直通四部分结构与待测器件焊盘结构完全一致。适用于器件在片负载牵引测试的校准结构的测试方法，包括：1）矢量网络分析仪双端口校准；2）阻抗调谐器校准并测量负载的1端口散射参数(S参数)；3）输入参数；4）器件端面校准；5）功率校准、验证。优点：1）保证校准结构与待测芯片电特性一致,避免由于校准结构与待测件材料、制备工艺不一致而导致的校准误差；2）有效剥离焊盘和互联线寄生，提高器件测试精度，提高功放设计成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 校准结构 测试 负载牵引 校准 短路 开路 矢量网络分析仪 阻抗调谐器 测量负载 待测器件 待测芯片 功率校准 焊盘结构 器件测试 器件端面 散射参数 输入参数 校准误差 制备工艺 不一致 成品率 待测件 电特性 互联线 双端口 功放 焊盘 寄生 剥离 验证 保证 | ||
【主权项】：
1.器件在片负载牵引测试的校准结构，其特征是包括片上开路、短路、负载和直通结构四部分，其中，所述负载由两个100欧电阻并联构成，所述负载、开路、短路、直通四部分结构与待测器件焊盘结构完全一致。
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