[发明专利]FIB样品座有效
| 申请号： | 201811396491.0 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109342475B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 尹圣楠;史燕萍 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 栾美洁 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种FIB样品座，包括样品座本体和底座，其中样品座本体与底座为一体结构，所述样品座采用防磁导电金属制成，所述样品座本体为六面体结构，该六面体的底面与顶面平行，四个侧面中至少一个侧面垂直于底面且至少一个侧面与底面的夹角α为40°～55°。本发明的样品座可以同时放置平面TEM样品、截面TEM样品以及FIB标记样品，从而可以提高物性失效分析的效率，延长螺纹连接的使用寿命，保持FIB真空值以提高FIB电子束的分辨率；同时与底面形成夹角的侧面上可同时放置FIB标记样品，从而减少进行共聚焦点高度Eucentric Height的时间。 | ||
| 搜索关键词： | fib 样品 | ||
【主权项】：
1.一种FIB样品座，其特征在于，包括样品座本体和底座，其中样品座本体与底座为一体结构，所述样品座采用防磁导电金属制成，所述样品座本体为六面体结构，该六面体的底面与顶面平行，四个侧面中至少一个侧面垂直于底面且至少一个侧面与底面的夹角α为40°～55°。
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