[发明专利]空间用小型微波ECR等离子体电子束发生装置及方法在审
| 申请号： | 201811399075.6 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109302792A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 王功;刘亦飞;贾新建;李亮;刘兵山 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间应用工程与技术中心 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H7/04 |
| 代理公司： | 北京市盛峰律师事务所 11337 | 代理人： | 梁艳 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种空间用小型微波ECR等离子体电子束发生装置及方法，涉及电子束加工制造技术领域。该装置通过上磁轭、不锈钢衬和下磁轭围成放电腔，并在不锈钢衬的外侧设置永磁体，放电腔的上端分别与微波源和气体源连接，放电腔的下端连接电子引出孔和加速电极，该结构的电子束发生装置，体积小，占用空间少，同时，由于本发明装置中的等离子体电子由工质气体产生，不涉及电子束发生装置本身结构的消耗，所以，理论上电子束发生装置的使用寿命可以无限延长，因此，本发明提供的体积小、寿命长的空间用小型微波ECR等离子体电子束发生装置，十分适合用于空间环境下的焊接、制造等任务。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束发生装置 小型微波 放电腔 空间用 不锈钢衬 体积小 等离子体电子 电子束加工 工质气体 加速电极 空间环境 使用寿命 外侧设置 占用空间 气体源 上磁轭 微波源 下磁轭 引出孔 永磁体 上端 下端 焊接 制造 消耗 | ||
【主权项】：
1.一种空间用小型微波ECR等离子体电子束发生装置，其特征在于，包括微波天线、上磁轭、不锈钢衬、下磁轭、永磁体、引出孔法兰、绝缘垫片、加速电极和加速电源；所述不锈钢衬设置在所述上磁轭和所述下磁轭之间，并与所述上磁轭和所述下磁轭共同围成放电腔，所述永磁体位于所述不锈钢衬的外侧；所述放电腔的上端通过所述微波天线与微波源连接，且通过进气孔与气体源连接，所述放电腔的下端与电子引出孔连接，且所述电子引出孔穿过依次连接的所述引出孔法兰、绝缘垫片和加速电极；所述加速电源的负极连接至所述引出孔法兰，所述加速电源的正极连接至所述加速电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院空间应用工程与技术中心，未经中国科学院空间应用工程与技术中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811399075.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
