[发明专利]基于波前技术的非球面透镜偏心检测装置及其检测方法

摘要

本发明公开了一种基于波前技术的非球面透镜偏心检测装置及其检测方法，该装置包括上部光纤光源、上部准直物镜、上部光源分光镜、上部缩束前透镜、上部缩束后透镜、上部成像探测器、上部成像分光镜、上部波前传感器、被测镜片夹持机构、下部光源分光镜、下部缩束前透镜、下部缩束后透镜、下部成像分光镜、下部波前传感器、下部成像探测器、下部准直物镜以及下部光纤光源。本发明为非接触式检测，不存在破坏镜片的风险，装置中无任何运动部件，系统可靠性、稳定性高；本发明可以一次性检测出非球面透镜有效口径内的多种偏心误差，避免了拼接检测带来的误差，同时也极大地缩减了检测时间，可用于流水线上的在线检测。

主权项

1.一种基于波前技术的非球面透镜偏心检测装置，其特征在于，包括上部光纤光源、上部准直物镜、上部光源分光镜、上部缩束前透镜、上部缩束后透镜、上部成像探测器、上部成像分光镜、上部波前传感器、被测镜片夹持机构、下部光源分光镜、下部缩束前透镜、下部缩束后透镜、下部成像分光镜、下部波前传感器、下部成像探测器、下部准直物镜以及下部光纤光源；其中，所述上部光纤光源发出的光经所述上部准直物镜准直，再透射所述上部光源分光镜后照射到所述被测镜片夹持机构上的被测镜片的上表面；所述被测镜片上表面的反射光经所述上部光源分光镜反射，再依次经所述上部缩束前透镜和上部缩束后透镜进行口径匹配后到达所述上部成像分光镜，光经过所述上部成像分光镜后被分为两部分，一部分经所述上部成像分光镜反射进入所述上部成像探测器，另一部分透射所述上部成像分光镜后进入所述上部波前传感器；所述上部成像探测器采集到被测镜片上表面的反射光形成的图像，通过对该图像中变曲率环图像的处理获得被测镜片上表面的光轴中心位置；所述上部波前传感器采集到被测镜片上表面的反射光的畸变信息，通过对该畸变信息进行处理获得被测镜片上表面的倾斜信息；其中，所述下部光纤光源发出的光经所述下部准直物镜准直，再透射所述下部光源分光镜后照射到所述被测镜片夹持机构上的被测镜片的下表面；所述被测镜片下表面的反射光经所述下部光源分光镜反射，再依次经所述下部缩束前透镜和下部缩束后透镜进行口径匹配后到达所述下部成像分光镜，光经过所述下部成像分光镜后被分为两部分，一部分经所述下部成像分光镜反射进入所述下部成像探测器，另一部分透射所述下部成像分光镜后进入所述下部波前传感器；所述下部成像探测器采集到被测镜片下表面的反射光形成的图像，通过对该图像中变曲率环图像的处理获得被测镜片下表面的光轴中心位置；所述下部波前传感器采集到被测镜片下表面的反射光的畸变信息，通过对该畸变信息进行处理获得被测镜片下表面的倾斜信息。