[发明专利]一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺在审
申请号: | 201811399995.8 | 申请日: | 2018-11-22 |
公开(公告)号: | CN109722548A | 公开(公告)日: | 2019-05-07 |
发明(设计)人: | 陈建国;聂玉 | 申请(专利权)人: | 衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司 |
主分类号: | C22B9/02 | 分类号: | C22B9/02;C22B41/00 |
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地址: | 421001 湖南省衡*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及区熔锗锭生产工艺,具体涉及一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺,包括如下步骤:将石英管和石英舟放置在清洁混合液中浸泡,然后用王水蒸煮,用不锈钢镊子夹持滤纸吸干石英管和石英舟上的水渍以后放进烘干机内烘干,烘干后取出,进行高温处理,再用蒸馏水煮后烘干即可,与现有技术相比,本发明的有益效果是:经过该过程区域熔炼的锗锭经测试样本完全符合锗锭需要的参数,同时,其纯度提高到99.99%以上,完全符合锗锭使用过程中的电学性能要求,提高锗锭合格率。 | ||
搜索关键词: | 锗锭 烘干 生产新工艺 合格率 石英管 石英舟 蒸馏水 不锈钢镊子 测试样本 电学性能 高温处理 过程区域 王水 烘干机 混合液 熔炼 夹持 滤纸 水渍 吸干 蒸煮 生产工艺 浸泡 取出 清洁 | ||
【主权项】:
1.一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺,其特征在于,包括如下步骤:(1)将石英管和石英舟放置在清洁混合液中浸泡,然后用王水蒸煮,用不锈钢镊子夹持滤纸吸干石英管和石英舟上的水渍以后放进烘干机内烘干,烘干后取出,进行高温处理,再用蒸馏水煮后烘干即可;(2)将锗锭放置在氢气容器内,利用电阻炉熔融锗锭,使其形状规则,大小均匀;(3)将熔好的锗锭先腐蚀,然后放入石英舟中,再将石英舟放入石英管内;(4)利用前级抽气机对石英管内抽真空,使管内形成真空环境,再利用油扩散泵进一步对石英管内抽气,使真空效果更加,用检漏计检查管内的真空度;(5)在石英管外设置高频炉,开高频炉对管内锗锭进行区熔;(6)待锗锭首端熔化后,稳定的拖动石英管使锗锭的不同位置均可以得到区域熔化;(7)这样往复拖动,重复区域熔化数十遍后,锗锭区熔完成;(8)测量提纯后的样品参数,并清洗石英管和石英舟。
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