[发明专利]微波ECR等离子体阴极环形束电子枪及3D打印方法

摘要

本发明公开了一种微波ECR等离子体阴极环形束电子枪及3D打印方法，涉及电子束增材制造技术领域。电子枪通过设置中空的环形结构放电腔，并在放电腔的前端连接有微波源，后端依次连接有引出加速电极和聚焦永磁体，在使用过程中，微波源利用电子回旋共振产生等离子体，引出加速电极将电子引出并在聚焦永磁体的作用下聚束，打印金属丝材从放电腔的中心通过，在聚焦电子束的作用下熔融成型。所以，本发明中的电子枪不仅提供了等离子体阴极，为空间金属增材制造提供热源，而且使用无极放电，免去了材料电极寿命不足的缺点，有利于在空间中使用；另外，金属丝材可以从电子枪的中心通过，环形电子束可以与金属丝材实现自对中，省去了复杂的对中过程。

主权项

1.一种微波ECR等离子体阴极环形束电子枪，其特征在于，包括放电腔，所述放电腔为中空的环形结构，金属丝材可穿过所述中空结构，且所述金属丝材的末端位于所述电子枪的后方设置的工作平台上，所述放电腔的前端连接有微波源以及气体源，所述放电腔的后端连接有引出加速电极，所述引出加速电极相较于所述放电腔为正电位，所述放电腔的外围包裹有ECR永磁体，所述引出加速电极的后端连接有聚焦永磁体。