[发明专利]与低温超高真空扫描隧道显微镜相结合的后焦面成像装置在审
| 申请号： | 201811402631.0 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109387669A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 张杨;郁云杰;范永涛;张斗国;董振超 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01Q60/12 | 分类号： | G01Q60/12;G01N21/25;G01N21/84 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种与低温超高真空扫描隧道显微镜相结合的后焦面成像装置，包括：待测样品、光学成像组件、一体化支架、扫描隧道显微镜的腔外透镜组和光学探测器；金属电致激发待测样品表面产生表面等离激元，光学成像组件收集表面等离激元传播过程中形成的漏辐射的大角度光信号并将其转换为平行光信号输出，扫描隧道显微镜的腔外透镜组接收平行光信号进行汇聚和/或成像后输出，光学探测器对接收到的光信号进行光谱测量和/或后焦面成像。本公开利于在低温超高真空环境中实现了对样品发光的后焦面特征的成像及其相关光谱的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 后焦面 超高真空扫描隧道显微镜 成像 扫描隧道显微镜 光学成像组件 光学探测器 平行光信号 成像装置 待测样品 外透镜 表面等离激元 超高真空环境 一体化支架 光谱测量 收集表面 输出 金属电 组接收 光谱 发光 测量 汇聚 辐射 转换 激发 | ||
【主权项】：
1.一种与真空扫描隧道显微镜相结合的后焦面成像装置，包括：光学成像组件，设置在扫描隧道显微镜真空腔内，金属探针电致激发扫描隧道显微镜真空腔内的待测样品表面产生表面等离激元；所述光学成像组件包括：半球形透镜，将表面等离激元传播过程中形成的漏辐射的大角度光信号沿原方向射出；所述半球形透镜平面端与所述金属探针相对；非球面透镜，将经过所述半球形透镜射出的光信号转换为平行光信号从所述扫描隧道显微镜真空腔输出；所述半球形透镜和所述非球面透镜沿光路方向平行且共轴设置；一体化支架，用于集成所述待测样品和所述光学成像组件，包括：底座、半球形透镜安装架组和非球面透镜安装架；扫描隧道显微镜的腔外透镜组，用于将扫描隧道显微镜真空腔输出的平行光信号进行汇聚和/或成像；光学探测器，用于接收经过所述扫描隧道显微镜的腔外透镜组汇聚的光信号，并对接收到的光信号进行光谱测量和/或后焦面成像。
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