[发明专利]像素单元、图像传感器及其制造方法

摘要

本公开涉及像素单元、图像传感器及其制造方法。根据本公开的一个方面，提供了一种像素单元，所述像素单元形成在半导体衬底中，所述像素单元包括：光电二极管，能够响应于入射光而生成电荷；浮动扩散部，位于光电二极管的至少一部分之上；以及势垒区，位于光电二极管与浮动扩散部之间，以将光电二极管和浮动扩散部隔离开；其中势垒区被配置用于控制由光电二极管生成的电荷从光电二极管到浮动扩散部的传输。

主权项

1.一种像素单元，其特征在于，所述像素单元形成在半导体衬底中，所述像素单元包括：光电二极管，能够响应于入射光而生成电荷；浮动扩散部，位于所述光电二极管的至少一部分之上；以及势垒区，位于所述光电二极管与所述浮动扩散部之间，以将所述光电二极管和所述浮动扩散部隔离开；其中所述势垒区被配置用于控制由所述光电二极管生成的电荷从所述光电二极管到所述浮动扩散部的传输。