[发明专利]一种单晶炉热场用电极护套在审
申请号: | 201811403208.2 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN109355696A | 公开(公告)日: | 2019-02-19 |
发明(设计)人: | 郭靖 | 申请(专利权)人: | 郭靖 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 211700 江苏省淮*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种单晶炉热场用电极护套,包括护套,所述护套上设有护套挡边,所述护套挡边为圆柱体,所述护套为圆柱体,所述护套的直径小于护套挡边的直径,所述护套和护套挡边可拆卸,所述护套采用四氟材质烘焙而成。 | ||
搜索关键词: | 护套 护套挡 单晶炉热场 四氟材质 可拆卸 烘焙 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉热场用电极护套,包括护套,其特征在于:所述护套上设有护套挡边。
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