[发明专利]一种步进旋转样品台、微观颗粒三维表面成像方法及系统有效

专利信息
申请号: 201811404199.9 申请日: 2018-11-23
公开(公告)号: CN109709116B 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 王晓琦;孙亮;李建明;金旭;焦航;李鑫;刘晓丹 申请(专利权)人: 中国石油天然气股份有限公司
主分类号: G01N23/046 分类号: G01N23/046;G01N23/2251;G01N15/00
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 王天尧;许曼
地址: 100007 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了步进旋转样品台、微观颗粒三维表面成像方法及系统,其中,微观颗粒三维表面成像方法包括:对微观颗粒样品进行预处理;利用微米CT对预处理得到的微观颗粒样品进行扫描,得到微观颗粒样品的微米CT数据;利用扫描电镜及步进旋转样品台对预处理得到的微观颗粒样品进行旋转成像,得到微观颗粒样品各角度的扫描电镜图像;对所述微米CT数据进行重构,得到包括三维轮廓及内部结构信息的三维数据体,将各角度的扫描电镜图像逐一贴至所述三维数据体的表面,得到微观颗粒三维全表面。本发明能够高效实现微观颗粒表面微纳米细节的三维展示,以及微观颗粒内部结构的展示。
搜索关键词: 一种 步进 旋转 样品 微观 颗粒 三维 表面 成像 方法 系统
【主权项】:
1.一种步进旋转样品台,其特征在于,包括:夹具、步进电机、法兰、供电系统及控制器,其中,所述步进电机具有固定部件、转轴、供电线路及控制线路;所述夹具设置于所述转轴上,用于夹持样品;所述固定部件设置于步进电机底部,用于将所述步进电机固定至扫描电镜样品仓内的样品台表面;所述转轴用于通过所述夹具带动所述样品转动;所述供电线路及控制线路经由所述法兰引出至所述扫描电镜样品仓外,分别接供电系统及所述控制器;所述供电系统用于为所述步进电机提供电能;所述控制器用于控制所述步进电机的旋转。
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