[发明专利]一种基于光学检测六氟化硫微小含量检测方法及系统

摘要

本申请实施例示出一种基于光学检测六氟化硫微小含量检测方法及系统。本申请实施例示出的技术方案采用高频正弦波与低频三角波叠加进行激光调制，经过调制的激光器发出光射入被检测气室。被检测气室经过吸收之后红外探测器所检测，检测信号经过低通滤波和锁相放大之后经过低通滤波器进行二次谐波信号的提取。提取的信号送入计算机进行计算推演水分的浓度，完成了整个SF₆检测过程。可见本申请示出的技术方案采用TDLAS技术对SF₆含量进行检测，通过检测SF₆气体的二次谐波检测技术等进行气体检测及微弱信号处理，通过浓度反演对气体中的SF₆含量进行测量。本申请实施例示出的技术方案所提供的方法具有、响应快速、检测精度高、温度压强可修正、免维护等优点。

主权项

1.一种基于光学检测六氟化硫微小含量检测系统，其特征在于，所述系统包括：DDS波形发生器，DA波形发生器，恒流发生器，10.1nm激光器，气室，10.1nm探测器、前置放大器、滤波电路、锁相放大器，信号处理系统所述DDS波形发生器的一输出端，DA波形发生器的输出端，恒流发生器的输出端分别与所述10.1nm激光器的输入端相连接；所述10.1nm激光器的输出端与所述气室的一端相连接，所述气室的另一端与所述10.1nm探测器相连接；所述10.1nm探测器的输出端与所述前置放大器的输入端相连接；所述前置放大器的输出端与所述滤波电路的输入端相连接；所述滤波电路的输出端与所述锁相放大器的输入端相连接；所述DDS波形发生器的另一输出端与所述锁相放大器的输入端相连接；所述锁相放大器的输出端与所述信号处理系统相连接。