[发明专利]一种提高多晶硅铸锭炉炉内气氛洁净度的方法在审
| 申请号： | 201811404651.1 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109252214A | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 马翔宇;路景刚;张泽兴;黄振华 | 申请（专利权）人： | 包头美科硅能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立;艾中兰 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开一种提高多晶硅铸锭炉炉内气氛洁净度的方法，铸锭炉运行前，在铸锭炉炉体内壁粘附低蒸气压高粘度的有机试剂，铸锭炉运行过程中，采用合理的气流控制，让杂质更易排出。本发明方法实施方便，能有效提高多晶硅铸锭炉炉内气氛洁净度，减少杂质，提高成品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅铸锭炉 炉内气氛 洁净度 铸锭炉 成品合格率 方法实施 炉体内壁 气流控制 有机试剂 运行过程 高粘度 蒸气压 排出 粘附 | ||
【主权项】：
1.一种提高多晶硅铸锭炉炉内气氛洁净度的方法，其特征在于：铸锭炉运行前，将低蒸气压高粘度的有机试剂粘附在炉体内壁上，所述有机试剂运动黏度：40℃时40‑100 mm2/s；蒸气压：50 ℃时1×10‑2 Pa以下；铸锭炉运行过程中，从长晶开始到长晶三分之二高度，给一个相对大的气流量，使气流强度增强，带出更多的杂质；从长晶三分之二高度到长晶结束，给一个相对小的气流量，使长晶速度降低，让杂质慢慢排出硅熔体。
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