[发明专利]可穿戴压力传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种制造效率高、成本低、微结构尺寸可控且灵敏度可以调制的可穿戴压力传感器及其制造方法。该传感器包括第一电极部和第二电极部，第一电极部包括具有微结构的第一PDMS薄膜、第一导电层和第一电极；第二电极部包括具有平坦表面的第二PDMS薄膜、第二导电层和第二电极；第一电极部和第二电极部以第一PDMS薄膜的微结构与第二PDMS薄膜的平坦表面相向的方式层叠；上述微结构包括多组突起，每组突起包含至少一个突起且在第一PDMS薄膜的表面上沿第一方向分布，各组突起沿着与第一方向交叉的第二方向排列。本发明的传感器可以通过接触电阻的变化实时监测压力的变化，在智能假肢、生物医疗、机器人等领域有广泛的应用前景。

主权项

1.一种可穿戴压力传感器，其特征在于，包括第一电极部和第二电极部，所述第一电极部包括具有微结构的第一PDMS薄膜、涂覆在所述第一PDMS薄膜上的第一导电层、和形成于所述第一PDMS薄膜的一端部的第一电极；所述第二电极部包括具有平坦表面的第二PDMS薄膜、涂覆在所述第二PDMS薄膜上的第二导电层、和形成于所述第二PDMS薄膜的一端部的第二电极；所述第一电极部和所述第二电极部以所述第一PDMS薄膜的微结构与所述第二PDMS薄膜的平坦表面相向的方式层叠；所述微结构包括多组突起，每组突起包含至少一个突起且在所述第一PDMS薄膜的表面上沿第一方向分布，各组突起沿着与所述第一方向交叉的第二方向排列。