[发明专利]一种静态工作点温度稳定的共路干涉电场传感器有效
| 申请号： | 201811405897.0 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109507490B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 曾嵘;庄池杰;汪海;马昕雨 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R1/44 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远;胡玉章 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静态工作点温度稳定的共路干涉电场传感器，属于光学电场测量技术领域。所述传感器包括铌酸锂晶体、钛扩散铌酸锂波导、电极和天线，以所述钛扩散铌酸锂波导的传播方向为z轴，将二氧化钛作为磁控溅射靶，在所述钛扩散铌酸锂波导的上表面进行磁控溅射，磁控溅射的压强为2.5～5毫托，磁控溅射时间为2～16.5小时，在钛扩散铌酸锂波导的上表面得到二氧化钛薄膜。本发明所述传感器，在铌酸锂波导上镀了一层二氧化钛薄膜，在不影响已有传感器原有测量灵敏度和准确性的基础上，对铌酸锂波导的正温度系数进行了补偿，从而大大提升了传感器静态工作点的温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静态 工作 温度 稳定 干涉 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种静态工作点温度稳定的共路干涉电场传感器，包括铌酸锂晶体(1)、钛扩散铌酸锂波导(2)、电极(3)和天线(4)；其中，所述钛扩散铌酸锂波导(2)是在铌酸锂晶体(1)的上表面通过钛扩散形成的，在所述钛扩散铌酸锂波导(2)的表面两侧分别对称设置有电极(3)和天线(4)，其中所述电极(3)平行于所述钛扩散铌酸锂波导(2)设置，所述天线(4)垂直于所述钛扩散铌酸锂波导(2)设置；其特征在于，在所述钛扩散铌酸锂波导(2)的上表面覆盖有一层二氧化钛薄膜(5)。
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