[发明专利]一种高熵合金氮化物涂层的高硬度材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201811407761.3 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109338300B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 陈建;刘晓鹏;杨巍;苏霖深;徐大鹏;姚小飞;吕煜坤 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 61219 陕西增瑞律师事务所 | 代理人： | 张瑞琪 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高熵合金氮化物涂层的高硬度材料及其制备方法，由位于基片表面的Cr过渡层、位于该Cr过渡层表面的CrN过渡层、以及位于该CrN过渡层表面的氮化物涂层组成；该氮化物涂层利用射频溅射法由氮气和高熵合金沉积制得，Cr过渡层的厚度为80‑150nm，CrN过渡层的厚度为50‑100nm，氮化物涂层的厚度为1.5‑2.5μm；发明所得的高熵合金氮化物涂层的高硬度材料不但具有超过50GPa的高硬度，并且具有优良的磨损性能；该涂层生产工艺简单、沉积速度快、成本低等特点，并且具有生产效率高、能耗低，对设备要求较低等优点，可适用于硬质刀具涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化物涂层 高熵合金 过渡层 高硬度材料 过渡层表面 沉积 制备 氮气 基片表面 磨损性能 射频溅射 生产效率 硬质刀具 对设备 高硬度 生产工艺 能耗 | ||
【主权项】：
1.一种高熵合金氮化物涂层的高硬度材料，其特征在于，由位于基片表面的Cr过渡层、位于该Cr过渡层表面的CrN过渡层、以及位于该CrN过渡层表面的氮化物涂层组成；该氮化物涂层利用射频溅射法由氮气和高熵合金沉积制得，所述Cr过渡层的厚度为80-150nm，所述CrN过渡层的厚度为50-100nm，所述氮化物涂层的厚度为1.5-2.5μm；制得的镀层材料的硬度为47.3-67GPa，其中，高熵合金的配料为铝、硅、钛、铬、铌和钒。/n
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