[发明专利]一种摆式加速度计在审
| 申请号： | 201811408017.5 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109541257A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李鹏飞;张习文;梁璞;赵坤帅;布音;雷宏杰;王晓勇;孙继奕 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 710076 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种摆式加速度计，其中加速度计述表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、力矩器组件和底座(9)，硅摆片(10)包括定片(1)、动片(3)和连接这两者的挠性支承梁(2)，光学位移传感器包括光源(6)、光电接收器(7)及位于两者之间的可动光窗(5)，力矩器组件包括磁钢组件(8)和力矩器线圈(4)，力矩器线圈(4)和可动光窗(5)固定在动片(3)上，三者构成可绕挠性支承梁摆动的摆质量，磁钢组件(8)和底座(9)形成环状气隙磁场，力矩器线圈(4)在环状气隙磁场中工作，提供反馈力。本发明的摆式加速度计将光学位移检测方式与整体摆相结合，应用于加速度计测量，实现精度为μg0/ppm级的加速度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 摆式加速度计 力矩器 光学位移传感器 力矩器组件 磁钢组件 环状气隙 加速度计 挠性支承 摆片 动片 光窗 可动 底座 磁场 光学位移检测 光电接收器 加速度测量 反馈力 摆动 表芯 定片 光源 测量 应用 | ||
【主权项】：
1.一种摆式加速度计，包括表芯，其中所述表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、力矩器组件和底座(9)，所述硅摆片(10)包括定片(1)、动片(3)和连接定片(1)和动片(3)的挠性支承梁(2)，所述光学位移传感器包括光源(6)、光电接收器(7)及位于光源(6)和光电接收器(7)之间的可动光窗(5)，力矩器组件包括磁钢组件(8)和力矩器线圈(4)，其中所述定片(1)、光源(6)与光电接收器(7)、及磁钢组件(8)固定在底座(9)上，力矩器线圈(4)和可动光窗(5)固定在动片(3)上，三者构成可绕挠性支承梁摆动的摆质量，磁钢组件(8)和底座(9)形成环状气隙磁场，力矩器线圈(4)在环状气隙磁场中工作，提供反馈力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，未经中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811408017.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抗冲击的摆式加速度计
- 下一篇：光纤光栅加速度和应变传感器及检测方法
