[发明专利]一种相邻拼接镜检测方法及检测系统有效

专利信息
申请号: 201811409099.5 申请日: 2018-11-23
公开(公告)号: CN109556513B 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 安其昌;曹海峰;杨飞;张景旭 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明涉及光学领域,具体涉及一种相邻拼接镜检测方法及检测系统,该方法及系统中将相干光光源分成两束具有预设光程差的平行光束;将两束平行光束分别入射到相邻两拼接镜上进行反射;对反射后的两束平行光束进行折转交叉,对折转交叉后的两束光束进行干涉产生干涉条纹;由干涉条纹信息推算出相邻两拼接镜之间的参数信息。与现有采用边缘传感器检测方法相比,本发明的精度更高,方便拆卸及维护并且不受环境温度、湿度、灰尘等因素的影响,且在装调过程中容易操作,解决传统边缘传感器易受环境温度、湿度、灰尘等因素影响的难题,适用于需要高精度共焦共相对准的拼接望远镜镜面,结构简单,可行性强,安装便捷,并具有单元集成的功能。
搜索关键词: 一种 相邻 拼接 检测 方法 系统
【主权项】:
1.一种相邻拼接镜检测方法,其特征在于,包括以下步骤:将相干光光源分成两束具有预设光程差的平行光束;将两束平行光束分别入射到相邻两拼接镜上进行反射;对反射后的两束平行光束进行折转交叉,对折转交叉后的两束光束进行干涉产生干涉条纹;由干涉条纹信息推算出相邻两拼接镜之间的参数信息。
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