[发明专利]一种热式微流量测量传感器流道及密封结构有效
| 申请号： | 201811409416.3 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109579928B | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 龙军;关威;汪旭东;张恒;付新菊;石召新;杨灵芝;吕泰增;陈君;沈岩;魏延明 | 申请（专利权）人： | 北京控制工程研究所 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F15/00;F16J15/02 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热式微流量测量传感器流道及密封结构，包括底板、元件基座、连接板和检测元件；底板和连接板均为矩形板，底板上分别设有用于气体流通的凹槽和用于安装元件基座的圆孔，圆孔轴线穿过凹槽，元件基座为圆台，元件基座同轴焊接在圆孔中，元件基座上安装有用于检测气体流动状态的检测元件，连接板与底板固定连接，连接板上分别设有用于配合凹槽的凸缘和用于气体流通的通孔，通孔轴线穿过凸缘。本发明通过底板凹槽与连接板凸缘的配合，避免了气体紊流，弥补了MEMS热式流量传感器检测稳定性较差的缺陷；通过设置填充件并将底板与连接板焊接，确保了检测元件和气体流道的可靠密封，解决了MEMS热式流量传感器结构及其流道密封性较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 式微 流量 测量 传感器 密封 结构 | ||
【主权项】：
1.一种热式微流量测量传感器流道及密封结构，其特征在于：包括底板(1)、元件基座(2)、连接板(3)和检测元件(4)；底板(1)为矩形板，底板(1)一面上设有用于气体流通的凹槽，底板(1)另一面上设有用于安装元件基座(2)的圆孔，圆孔的轴线穿过所述凹槽，元件基座(2)采用圆台结构，元件基座(2)同轴焊接在所述圆孔中，元件基座(2)上安装有用于检测气体流动状态的检测元件(4)，连接板(3)为矩形板，连接板(3)与底板(1)固定连接，连接板(3)一面上设有用于配合所述凹槽的凸缘，连接板(3)另一面上设有用于气体流通的通孔，通孔的轴线穿过所述凸缘。
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