[发明专利]一种用于电离区与检测区之间气压的快速隔离装置有效
申请号: | 201811411843.5 | 申请日: | 2018-11-25 |
公开(公告)号: | CN111223750B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 李海洋;李函蔚;花磊;蒋吉春;李庆运 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | H01J49/24 | 分类号: | H01J49/24;H01J49/26 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及质谱分析仪器,具体的说是一种用于电离区与检测区之间气压的快速隔离装置。具体结构包括VUV灯、电离源腔体、隔离装置、挡板阀、真空计和真空泵。电离源腔体内部沿VUV灯出射方向分别有样品分子进样管、电极组、四氟绝缘环组、Skimmer电极和隔离板,所有电极均为中间圆孔的平板结构,并且平行、同轴、绝缘放置。本快速隔离装置以圆环可移动密封式结构,将电离区与检测区之间气压进行隔离,分开电离区与检测区之间气压压差。该新型快速隔离装置技术大大提高了拆卸质谱分析仪器的电离区装置的效率,更便捷的检查维护及更换电离区组件,在质谱分析仪器结构设计及合理拆装结构具有广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 电离 检测 之间 气压 快速 隔离 装置 | ||
【主权项】:
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