[发明专利]单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器在审
| 申请号： | 201811413062.X | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109412015A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 郑婉华;陈忠浩;赵少宇;周旭彦;渠红伟;齐爱谊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/22;H01S5/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器，包括：一外延结构；一脊波导结构及侧向耦合光子晶体，制作于上述外延结构表面；一介质层，制作于上述脊波导结构及侧向耦合光子晶体表面，其中脊波导上的介质层需要去除，用于实现电流注入；一P型电极，制作于P型脊波导及介质层上；以及一N型电极，制作于外延结构下方；其中，外延结构中引入了光子晶体结构。该光子晶体结构在保证激光器在单模工作的同时降低器件的垂直发散角，进而提高光纤耦合效率并降低光纤耦合成本及其系统复杂性；此外，该光子晶体结构还能提高器件的单管出光功率，该激光器只需一次外延和普通光刻技术即可实现窄线宽输出，制备简单，工艺成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 外延结构 激光器 光子晶体结构 介质层 窄线宽 复合光子晶体 脊波导结构 侧向耦合 单空间模 制作 低发散 脊波导 光纤耦合效率 光子晶体表面 系统复杂性 出光功率 工艺成本 光刻技术 光纤耦合 光子晶体 降低器件 一次外延 发散角 单管 单模 去除 制备 垂直 输出 引入 保证 | ||
【主权项】：
1.一种单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器，其特征在于，包括：一外延结构；一脊波导结构及侧向耦合光子晶体，制作于上述外延结构表面；一介质层，制作于上述脊波导结构及侧向耦合光子晶体表面，其中脊波导上的介质层需要去除，用于实现电流注入；一P型电极，制作于P型脊波导及介质层上；以及一N型电极，制作于外延结构下方；其中，所述外延结构中引入了光子晶体结构。
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