[发明专利]一种MEMS流量传感器芯片有效
| 申请号： | 201811414115.X | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111220224B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 宋阳阳;温赛赛;马硕;胡慧珊;王新亮 | 申请（专利权）人： | 苏州原位芯片科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片包括具有腔体的基底、设置在基底下方的腔体保护层、叠设于基底上方的电阻元件支承层、载置于电阻元件支承层的感温元件和测流元件、覆盖感温元件和所测流元件的电阻元件保护层以及设置在所述电阻元件保护层上方的芯片保护层。其中，所述测流元件对应设置在所述腔体的正上方；所述感温元件设置在所述基底上方的非腔体对应的位置。本发明的MEMS流量传感器芯片应用广泛，特别适用于小微流量的流体流速测量；具有电路结构简单，测量精度高、成本低的特点；提升了测量灵敏度和测量范围；并且使用寿命更长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 流量传感器 芯片 | ||
【主权项】：
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