[发明专利]一种超声辅助的纳米薄膜制备装置及制备方法

摘要

本发明公开了一种超声辅助的纳米薄膜制备装置及制备方法，制备装置包括压电换能单元、储存纳米材料悬浊液的储液凹槽和衬底，所述压电换能单元底部设有四维调节平台，所述四维调节平台使所述压电换能单元作X轴、Y轴和Z轴方向移动以及绕Z轴旋转；所述储液凹槽通过粘结层与压电换能单元的辐射面进行连接，并固化为一个整体。本发明不需要提供特殊气氛范围，设备工艺简单，在成膜过程中依靠压电换能单元辐射面与衬底之间的超声场所产生声辐射力和声学流等非线性效应，并借助声辐射力和声空化作用等将纳米材料沉积吸附于衬底表面，衬底经过溶剂的蒸发，溶质热分解等反应过程，最终在衬底上形成固体纳米薄膜。

主权项

1.一种超声辅助的纳米薄膜制备装置，其特征在于：包括压电换能单元、储存纳米材料悬浊液的储液凹槽和衬底，所述压电换能单元底部设有四维调节平台，所述四维调节平台使所述压电换能单元作X轴、Y轴和Z轴方向移动以及绕Z轴旋转；所述储液凹槽通过粘结层与压电换能单元的辐射面进行连接，并固化为一个整体；所述衬底通过支架固定于储液凹槽内且位于储液凹槽内纳米材料悬浊液的液面以下或恰好与纳米材料悬浊液液面浸润接触，所述衬底与储液凹槽的底面保持一定距离且所述衬底与储液凹槽无接触。