[发明专利]一种电子级氯化氢气体中痕量水分的去除的设备和使用方法

摘要

本发明涉及高纯气体制备领域，具体关于一种电子级氯化氢气体中痕量水分的去除的设备和使用方法；本发明方法公开的一种电子级氯化氢气体中痕量水分的去除的设备和使用方法，本方案设计一种固定床反应器，采用一种负载型杂多酸盐吸附材料吸附水分。该材料在合成过程中使用一种烷基磺酸功能化相容剂，使该材料中的杂多酸盐与载体材料具备更好的相容性，提高负载率。该材料具有很高的比表面，在氯化氢气体中稳定，不释放二次污染物；不仅能够有效吸附高纯氯化氢气体中的痕量水分形成结晶水，而且对氯化氢气体中的金属离子有迟滞作用。

主权项

1.一种电子级氯化氢气体中痕量水分的去除的设备和使用方法，所述的设备为一种固定床反应器，其结构包括：气体入口、外筒、内筒、分布器、惰性瓷球层、纯化材料层、汇集器、气体出口，所述的内筒设置在固定床反应器轴向中心位置，且所述内筒上端与固定床反应器的气体入口连通，下端与固定床反应器的汇集器以及气体出口连通；所述气体入口和气体出口都带有阀门开关；所述内筒下部外壁加工有均匀分布于内筒外壁圆周端面的通气孔；所述分布器接连着气体入口和内筒；所述的惰性瓷球层分布于内筒的上部的带孔筛板上；所述的纯化材料层在惰性瓷球层下面，位于内筒的下部的带孔筛板上；其特征在于所述的纯化材料层填充一种负载型杂多酸盐吸附材料，能有效吸附气体中的痕量水分形成结晶水。