[发明专利]一种可以有效降温的分子蒸发装置

摘要

本发明涉及一种可以有效降温的分子蒸发装置，属于超高真空有机分子技术领域。该分子蒸发装置，包括金属挡片、陶瓷压片、内坩埚、限位陶瓷、电阻丝、外坩埚、冷却台、热偶线、四电极法兰、冷却管、旋转导入器、空管、CF16的法兰、铜螺栓、螺母和旋转导入器的长螺杆。本装置能有效加热沉积样品；本装置可实现有效的降温，并可以通液氮降温，经过测试可以降到‑90℃并可正常使用；本装置可以实现在通入液氮流量较为稳定的情况下，通过电阻丝加热，维持在设定的温度；本装置结构原理简单，部件容易更换、升级，易于修理；本装置成本较低。

主权项

1.一种可以有效降温的分子蒸发装置，其特征在于：包括金属挡片（1）、陶瓷压片（2）、内坩埚（3）、限位陶瓷（4）、电阻丝（5）、外坩埚（6）、冷却台（7）、热偶线（8）、四电极法兰（9）、冷却管（10）、旋转导入器（11）、空管（14）、CF16的法兰（15）、铜螺栓（18）、螺母（19）和旋转导入器的长螺杆（20），所述四电极法兰（9）中间位置插入一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极，一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极包裹着插入四电极法兰（9）的两个冷却管（10），两个冷却管（10）顶部与冷却台连通，冷却台为内部中空柱状，冷却台中间位置通过铜螺栓（18）和螺母（19）与外坩埚（6）底部连接，外坩埚（6）内部设有内坩埚（3），铜螺栓（18）顶部与内坩埚（3）底部接触，外坩埚（6）内部设有若干均匀设置的电阻丝（5）以及内坩埚（3）上设有热偶线（8），电阻丝（5）两端穿过外坩埚（6）后各连接一个矮的加热丝电极，热偶线（8）两端穿过外坩埚（6）后各连接一个高的热偶电极，一对高的热偶电极上部设有陶瓷压片（2）以及下部设有限位陶瓷（4），陶瓷压片（2）上与内坩埚（3）顶部开口的竖直方向设有出口孔，四电极法兰（9）底部通过空管（14）连接CF16的法兰（15），旋转导入器的长螺杆（20）依次穿过从下至上的CF16的法兰（15）和限位陶瓷（4），旋转导入器的长螺杆（20）上部设有金属挡片（1），调节旋转导入器的长螺杆（20）的上下位置将金属挡片（1）遮挡住或者打开出口孔。