[发明专利]弹性波器件

摘要

弹性波器件包括压电薄膜。在该压电薄膜上具有IDT电极。绝缘层在支撑基板的主表面上围绕压电薄膜。在俯视图中，间隔层围绕压电薄膜。在间隔层上具有盖。间隔层具有外边缘和内边缘，在俯视图中内边缘比外边缘更靠近压电薄膜。绝缘层的更靠近间隔层的主表面具有倾斜区域，该倾斜区域在俯视图中在绝缘层与间隔层重叠的范围中延伸，并且在所述倾斜区域中，在与支撑基板垂直的方向上与支撑基板的第一主表面之间的距离从外边缘朝向内边缘逐渐增加。

主权项

1.一种弹性波器件，包括：支撑基板；直接位于所述支撑基板的第一主表面上或间接位于所述支撑基板的第一主表面上方的压电薄膜；位于所述压电薄膜上的叉指换能器电极；电耦合到所述叉指换能器电极的布线层；位于所述支撑基板的第一主表面上的绝缘层，所述绝缘层围绕所述压电薄膜；至少一部分位于所述绝缘层上的间隔层，在俯视图中，或者在与所述支撑基板垂直的方向上或在厚度方向上向下看时，所述间隔层围绕所述压电薄膜；以及位于所述间隔层上的盖，所述盖在所述厚度方向上与所述叉指换能器电极间隔开，其中：所述间隔层具有外边缘和内边缘，在俯视图中所述内边缘比所述外边缘靠近所述压电薄膜；以及所述绝缘层的更靠近所述间隔层的第一主表面具有倾斜区域，所述倾斜区域在俯视图中在所述绝缘层与所述间隔层重叠的范围中延伸，并且在所述倾斜区域中，在所述厚度方向上与所述支撑基板的第一主表面之间的距离从所述外边缘朝向所述内边缘逐渐增加。